Reiko - Ritto
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薄膜加工技術の可能性を追求した技術開発｜株式会社麗光 - Reiko.co.jp
薄膜の蒸着・成膜・スパッタリングなど薄膜加工品を製造販売する株式会社麗光。少量加工から委託生産まで対応可能。薄膜加⼯のリーディングカンパニーとしてお客様と共に、包装・高機能フィルム、工業・情報電子材料分野で薄膜加工技術の未来を創造します。
About Reiko
スパッタリング機
フィルム基材をRoll to Rollで搬送し、基材表面に誘電膜、ITO等透明導電膜、金属膜のスパッタ成膜を行う装置です。
真空チャンバ内に膜をつけたい金属をターゲットとして設置、ターゲットを陰極電位としArなどのガスをプラズマ化し、それらガスがターゲットに衝突し、たたき出された微小粒子を対向する基板フィルムに堆積させる。
仕様
| フィルム厚み | 50～200μm |
|---|---|
| フィルム幅 | 1250mm (基材幅1340mmの場合) |
| 巻径 | ～650mm |
※スパッタ機材料
AIN［窒化アルミニウム］, Ag合金［銀］, Cu［銅］, NiCr［ニクロム］, SUS［ステンレス鋼］, TiO2［酸化チタン(IV)］, ITO［酸化インジウムスズ］, Nb2O5［酸化ニオブ(V)］, SiN［窒化ケイ素］, Al2O3［酸化アルミニウム］
Contact Reiko
| 住所 ： | 540 Takano, Ritto, Shiga 520-3045, Japan |
| 電話 ： | 📞 +877 |
| Postal code : | 520-3045 |
| Webサイト ： | http://www.reiko.co.jp/ |
| カテゴリ： |
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安
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