ナガセテクノエンジニアリング株式会社

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AWM2型自動ウエハ枚葉移載装置資料請求・お問い合わせ

AWM2型自動ウエハ枚葉移載装置

概要

コンパクトな卓上型ソーターです。ウエハの移載、ソート、分割、ピッチ変更、その他特殊プログラムが可能。タッチスクリーン操作で、登録したレシピモード、手動モードの選択が可能。エンドエフェクタにはウエハマッピングセンサ及び緊急EMOスイッチを搭載。 75mm、100mm、150mm、200mmの何れかに対応します。 MEMS、TSV、Taikoウエハなど、表裏面とも接触できないウエハの端面除外領域（外周端）を掴むことができる特殊エンドエフェクターもオプションでご用意可能です。詳しくはお問合せ下さい。

特長

・省スペース（卓上型）
・SEMI 規格ウエハ、厚ウエハ、薄ウエハに対応
・タッチスクリーンパネル操作
・レシピモードもしくは手動モードの選択が可能
・ウエハ飛び出し、カセット有無、クロススロット
・ダブルスタック検知センサー搭載
・緊急停止ボタン搭載
・スループット：最大 400 枚／時間
・OCR 読取／整列機能は搭載していません。
・電源：100-120VAC、24VDC
・サイズ：高 789mm/奥行750mm/幅635mm
・重量：37KG

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Contact ナガセテクノエンジニアリング株式会社

住所：	Mitsuyaminami, Yodogawa Ward, 〒532-0035 Osaka,Japan
Webサイト：	https://www.nagase-nte.co.jp/
カテゴリ：	企業のオフィス ,
街：	Osaka

Mitsuyaminami, Yodogawa Ward, 〒532-0035 Osaka,Japan

Best Corporate office in japan

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